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本发明涉及一种等离子体刻蚀加工设备，特别是一种等离子体刻蚀装置，包括相对设置的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极之间具有用于放置待加工件的加工区域，还包括驱动装置，第一电极上靠近第二电极的一侧设置有呈阵列布置的尖端，尖端的尖部指向第二电...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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