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本申请提供了一种哈特曼测量装置及其测量方法和晶圆几何参数测量装置。该哈特曼测量装置包括光源准直部件和哈特曼波前传感器。光源准直部件用于将光源产生的光束准直以形成平行光束，并将平行光束直接或间接射向晶圆的待测表面；哈特曼波前传感器用于接收从晶...
该专利属于南京中安半导体设备有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中安半导体设备有限责任公司授权不得商用。

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