下载固体浸没式透镜单元及半导体检查装置的技术资料

文档序号:33626403

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本发明的固体浸没式透镜单元具备:固体浸没式透镜;及固持件,其可摆动地保持固体浸没式透镜。固体浸没式透镜具有:第1透镜部,其由第1材料形成;及第2透镜部,其由具有比第1材料的折射率小的折射率的第2材料形成,并且结合于第1透镜部。第1透镜部包含...
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