固体浸没式透镜单元及半导体检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术的固体浸没式透镜单元具备：固体浸没式透镜；及固持件，其可摆动地保持固体浸没式透镜。固体浸没式透镜具有：第1透镜部，其由第1材料形成；及第2透镜部，其由具有比第1材料的折射率小的折射率的第2材料形成，并且结合于第1透镜部。第1透镜部包含：抵接于观察对象物的抵接面、及凸状的第1球面。第2透镜部包含：面向第1球面的凹状的第2球面、及以面向物镜的方式配置的凸状的第3球面。固持件具有构成为可与第3球面接触的接触部。可与第3球面接触的接触部。可与第3球面接触的接触部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】固体浸没式透镜单元及半导体检查装置


[0001]本公开的一个方面涉及一种固体浸没式透镜单元及半导体检查装置。

技术介绍

[0002]在半导体器件中，低于光的波长的水平下的内部结构的微细化日新月异。同时，在半导体器件中，配线层的多层化日新月异。因而，在观察半导体器件时，自与半导体器件的器件(集成电路等)侧为相反侧的表面，实施内部结构的观察等。在该观察中，基于由半导体器件的基板材料的带隙造成的制约，缩短光的波长受限制，其结果为，可观察到的内部结构的尺寸也受限制。
[0003]为了解决此问题，实现高分辨率下的内部结构的观察等，有时使用固体浸没式透镜(SIL：Solid Immersion Lens)。固体浸没式透镜由与半导体器件的基板材料实质上相同、或具有与其折射率接近的折射率的材料形成。通过使固体浸没式透镜的抵接面与半导体器件的表面紧贴，实现消散耦合(evanescent coupling)，可实现高分辨率下的内部结构的观察等。例如，在专利文献1中，记载有一种使用球体来可摆动地保持固体浸没式透镜的技术，使得即使观察对象物的表面倾斜，也能够使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种固体浸没式透镜单元，其中，具备：固体浸没式透镜；及固持件，其可摆动地保持所述固体浸没式透镜，所述固体浸没式透镜具有：第1透镜部，其由第1材料形成；及第2透镜部，其由具有比所述第1材料的折射率小的折射率的第2材料形成，并且结合于所述第1透镜部，所述第1透镜部包含：抵接于观察对象物的抵接面、及凸状的第1球面，所述第2透镜部包含：面向所述第1球面的凹状的第2球面、及以面向物镜的方式配置的凸状的第3球面，所述固持件具有：构成为可与所述第3球面接触的接触部。2.根据权利要求1所述的固体浸没式透镜单元，其中，所述第1球面、所述第2球面及所述第3球面的曲率中心一致。3.根据权利要求1或2所述的固体浸没式透镜单元，其中，所述抵接面为平坦面。4.根据权利要求1至3中任一项所述的固体浸没式透镜单元，其中，所述抵接面，在与所述物镜的光轴平行的方向上，相对于所述第2透镜部朝所述物镜的相反侧突出。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村共则，荒田育男，毛祥光，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：