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本申请实施例提供了一种半导体热处理设备及其水蒸气供给装置。该水蒸气供给装置包括：流体通道、雾化组件及加热器；流体通道的两端分别为输入端及输出端，输入端用于通入高纯水，输出端用于与工艺腔室连接，以向工艺腔室提供水蒸气；流体通道沿高纯水的流动方...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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