下载一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置的技术资料

文档序号:33580099

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本实用新型公开了一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置,包括板块、电机、挤压板、测量圈以及工作台,所述板块的底部通过螺栓连接安装板,所述安装板的底部固定连接电机,所述电机的顶部设有轴杆,所述轴杆的侧面固定连接限位块,所述工作台的底部开设...
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