下载半导体元件及其形成方法的技术资料

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一种半导体元件及其形成方法,在半导体基板的硅层中形成至少一个掺杂硅区域,并且在硅层上方形成氧化硅层。含锗材料部形成在半导体基板中,以提供p
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该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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