温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本文披露了一种声波清洁插入件。在一个实例中，声波清洁插入件包括被配置为围绕中心轴旋转的转盘。转盘还包括具有外周边的平台。平台围绕中心轴径向地设置。转盘具有内环和包围内环的外环。多个隔板将内环和外环耦接至平台。多个隔板围绕中心轴以预定角度布置...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。