下载半导体存储器装置和半导体存储器装置的制造方法的技术资料

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本公开涉及一种半导体存储器装置和半导体存储器装置的制造方法。一种半导体存储器装置包括:栅极层叠结构;沟道层,该沟道层在垂直方向上穿过栅极层叠结构;存储器层,该存储器层设置在沟道层和栅极层叠结构之间;虚设层叠结构,该虚设层叠结构朝向栅极层叠结...
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