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本发明提出一种清洁系统、曝光机台及清洁方法；清洁系统集成于曝光机台中，曝光机台包含浸没罩及可平移地设置于浸没罩下方的工作台；清洁系统包含图像采集单元、清洁单元以及控制单元；图像采集单元设置于工作台表面，用以采集浸没罩的通孔的图像信息；清洁单...
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