温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种压电材料及其制作方法、声表面波谐振器及电子器件，所述压电材料包括自下向上叠设的硅基衬底以及氮化铝薄膜。本发明提供的压电材料，将氮化铝薄膜作为压电层，以供声表面波在其表面产生并传播，氮化铝薄膜具有声速高、热稳定性好、导热系数高等...
该专利属于深圳市汇芯通信技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市汇芯通信技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。