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微弱光光谱测量器件和光谱仪制造技术
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文档序号:33529114
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本发明属于光谱设备领域,提供一种微弱光光谱测量器件和光谱仪,包括衬底和设置在衬底上表面的至少两个探测单元,一个探测单元包括一个光调制微纳结构单元和一个超导纳米线单光子探测器单元。光调制微纳结构单元可以对入射光光谱实现一定的调制作用,超导纳米...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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