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本发明提供检查装置和探针的研磨方法。检查装置用于对检查对象基片进行检查，包括：检查用载置台；输送机构；载置研磨用基片的研磨用载置台，研磨用基片用于对在检查时与基片接触的探针进行研磨、且具有可由输送机构输送的形状和大小；使检查用载置台移动以相...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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