【技术实现步骤摘要】
检查装置和探针的研磨方法
[0001]本专利技术涉及检查装置和探针的研磨方法。
技术介绍
[0002]专利文献1公开了一种探测器，其包括用于载置基片的载置台和与载置台相对的探针卡，探针卡具有向上述被载置的基片突出的多个探针。该探测器具有用于对多个探针的针尖进行研磨的针尖研磨装置，针尖研磨装置具有用于与上述针尖接触的针尖接触部和用于支承针尖接触部的支承部，在针尖接触部的与上述针尖接触的部分设置有用于对上述针尖进行研磨的针尖研磨面。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2015
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138888号公报
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]本专利技术的技术，能够在抑制装置的大型化的同时，不使生产率降低地使用能够由输送检查对象基片的输送机构输送的研磨用基片对探针进行研磨。
[0008]用于解决技术问题的手段
[0009]本专利技术的一个方式提供一种检查装置，其为用于对检查对象基片进行...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检查装置，其为用于对检查对象基片进行检查的检查装置，其特征在于，包括：用于载置所述检查对象基片的检查用载置台；至少能够输送所述检查对象基片的输送机构；用于载置研磨用基片的研磨用载置台，所述研磨用基片是用于对在检查时与基片接触的探针进行研磨的部件、并且具有能够由所述输送机构输送的形状和大小；第1进退机构，其用于使所述检查用载置台移动，以使所述检查用载置台相对于所述探针进退；和第2进退机构，其用于使所述研磨用载置台移动，以使所述研磨用载置台相对于所述探针进退，所述研磨用载置台是在所述检查用载置台以外另外设置的，所述检查用载置台的退避区域与所述研磨用载置台的退避区域，在俯视时位于将所述探针夹在中间的相反侧的位置，所述第2进退机构构成为：使得被载置在所述研磨用载置台上的所述研磨用基片中的与该研磨用基片的退避区域侧相反的一侧在俯视时能够与所述探针重叠，而该研磨用基片的退避区域侧在俯视时不能与所述探针重叠。2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：还包括用于使所述研磨用载置台旋转的旋转机构。3.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：还包括用于对被载置在所述研磨用载置台上的所述研磨用基片的朝向进行调整的调整机构。4.如权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其特征在于：所述研磨用载置台具有用于进行被载置在该研磨用载...
【专利技术属性】
技术研发人员：小林将人，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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