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本实用新型公开了尾排结构和具有其的LPCVD设备，尾排结构包括第一管路组件，第二管路，真空泵组件和第三管路。根据本实用新型的尾排结构，可以作为其他管路损坏后的备选通路；可以在不需要精准控制气压时使用，以减少控制调节阀的使用，增加控制调节阀的...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

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