温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种高导电耐蚀非晶/纳米晶复合共存的涂层及其制法与应用。所述制法包括:采用电弧离子镀复合高功率脉冲磁控溅射技术,以Cr靶作为电弧靶,以Al靶作为高功率脉冲磁控溅射靶,以甲烷为工作气体,在金属基体表面沉积形成Cr...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种高导电耐蚀非晶/纳米晶复合共存的涂层及其制法与应用。所述制法包括:采用电弧离子镀复合高功率脉冲磁控溅射技术,以Cr靶作为电弧靶,以Al靶作为高功率脉冲磁控溅射靶,以甲烷为工作气体,在金属基体表面沉积形成Cr