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本发明提供一种铝钪靶材与铝合金背板的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法为电子束焊接，所述电子束焊接的道次≥3，所述铝钪靶材中钪的含量≤20at％。所述焊接方法采用电子束焊接，制备铝钪合金靶便于自动化生产、焊接工艺及质量更稳定、能源耗费少、生...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种铝钪靶材与铝合金背板的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法为电子束焊接，所述电子束焊接的道次≥3，所述铝钪靶材中钪的含量≤20at％。所述焊接方法采用电子束焊接，制备铝钪合金靶便于自动化生产、焊接工艺及质量更稳定、能源耗费少、生...