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本发明公开了一种三轴超精密轮廓检测装置，属于精密测量技术领域，其基于柱坐标测量原理，主要由运动执行单元及精密测量单元构成；测量装置包括隔振平台、大理石基座、精密气浮转台、X轴直线运动平台、Z轴直线运动平台、光谱共焦位移传感器、X轴位移参考基...
该专利属于成都特密思科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都特密思科技有限公司授权不得商用。

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