温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种靶材孔位的安装检具及检测方法，所述安装检具包括检具主体和检具插销，两者独立设置；所述检具主体呈圆环形结构，其中间位置设有通孔，所述检具主体上设有多个圆柱形凸起，其数量与靶材标准孔的数量相同，圆柱形凸起对应插入靶材的孔位中；所...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。