一种靶材孔位的安装检具及检测方法技术

本发明专利技术提供了一种靶材孔位的安装检具及检测方法，所述安装检具包括检具主体和检具插销，两者独立设置；所述检具主体呈圆环形结构，其中间位置设有通孔，所述检具主体上设有多个圆柱形凸起，其数量与靶材标准孔的数量相同，圆柱形凸起对应插入靶材的孔位中；所述检具插销呈圆柱状结构，其两端均设有插销头，一端插销头的直径大于靶材孔的直径，另一端则小于靶材孔的直径。本发明专利技术根据待检测靶材中孔位的结构及分布，设计相应的安装检具，检具主体上的圆柱形凸起便于检测靶材上孔的位置是否合适，检具插销则检测靶材上孔的直径是否合适，检测速率快，精确度高，使之安装时的匹配性较好；所述安装检具结构简单，检测方法操作简便，成本较低。较低。较低。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材孔位的安装检具及检测方法


[0001]本专利技术属于半导体产品检测
，涉及一种靶材孔位的安装检具及检测方法。

技术介绍

[0002]半导体芯片是现代电子行业的基础，是制作硅半导体电路的基础部件，随着半导体技术的不断发展，对芯片品质的要求在逐渐提高，因而对其生产加工过程也会有更高的要求。溅射靶材作为芯片制备的原料，在芯片制备过程中，需要将靶材固定于溅射机台上进行磁控溅射操作，为确保溅射的稳定性和安全性，用于固定靶材的孔位尺寸就显得尤为重要。若是孔位角度及孔径与溅射机台不相匹配，则会导致靶材无法稳定地安装在机台上。因此，有必要对溅射靶材的孔位尺寸进行检测。
[0003]目前，在靶材初步加工完成后需要进行尺寸检测，其中孔位检测即是重要的一项，现有技术中通常采用三坐标测量机对靶材的孔位尺寸进行检测，以检测各个孔位的角度及大小是否符合规定；但对于某些特殊结构的靶材，孔位较多，采用三坐标测量机检测速率较慢，且由于孔径并非单一尺寸，检测时出错率较高，因而需要设计专用的孔位检具，以提高特定靶材的孔位检测效率。
[0004]CN 1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材孔位的安装检具，其特征在于，所述安装检具包括检具主体和检具插销两部分，两者独立设置；所述检具主体呈圆环形结构，其中间位置设有通孔，所述检具主体上靠近外侧边缘的表面圆周上设有多个圆柱形凸起，所述圆柱形凸起的数量与靶材上标准孔的数量相同，所述靶材置于检具主体上，所述检具主体上的圆柱形凸起对应插入靶材的孔位中；所述检具插销呈圆柱状结构，其两端均设有插销头，插销头的直径尺寸小于检具插销中间位置的尺寸，两端插销头的直径尺寸不同，一端插销头的直径大于靶材标准孔的直径，另一端插销头的直径小于靶材标准孔的直径。2.根据权利要求1所述的安装检具，其特征在于，所述检具主体中通孔的直径占检具主体直径的80～90％；优选地，所述圆柱形凸起所在圆周的直径占检具主体直径的90～95％；优选地，所述圆柱形凸起的高度相同；优选地，所述圆柱形凸起的位置与靶材上标准孔的位置相对应；优选地，所述圆柱形凸起的直径小于靶材上对应位置的标准孔的直径。3.根据权利要求1或2所述的安装检具，其特征在于，所述检具主体的边缘位置设有一圈环形凸起，构成环形侧壁；优选地，所述环形侧壁的高度是圆柱形凸起高度的2～3.5倍；优选地，所述环形侧壁上对称位置设有开口，所述开口的位置均匀分布；优选地，所述开口的数量为两个或四个。4.根据权利要求1
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3任一项所述的安装检具，其特征在于，所述靶材上标准孔的种类按照孔径进行划分；优选地，所述靶材上的标准孔的种类数量与检具插销的数量相同，一类标准孔对应一种检具插销；优选地，所述安装检具的材质包括不锈钢，优选为与靶材的材质相同。5.根据权利要求1
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4任一项所述的安装检具，其特征在于，所述检具插销至少包括三段阶梯状圆柱段，分别为检具插销中间段和两端的插销头；优选地，所述靶材上标准孔的直径为9.02～9.22mm，相对应的一端插销头的直径比标准...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，陈文庆，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：