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三维存储器、制备方法以及存储系统技术方案
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文档序号:33460059
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本申请提供三维存储器、制备方法以及存储系统。三维存储器包括:第一选择栅结构;存储叠层,设置于第一选择栅结构上;第二选择栅结构,设置于存储叠层上;以及沟道结构,穿过第二选择栅结构、存储叠层和第一选择栅结构,其中沟道结构包括穿过存储叠层的电荷捕...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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