下载一种气源输送装置及碳化硅外延生长设备的技术资料

文档序号:33460045

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本实用新型公开一种气源输送装置,包括隔板和导流板,隔板上设置有至少三个通气单元,每个通气单元包括至少一个气孔,每个气孔包括设置在隔板上表面的第一开口、设置在隔板下表面的第二开口和连通第一开口和第二开口的通道,第二开口的面积大于所述第一开口的...
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