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一种退火方法及系统技术方案
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下载一种退火方法及系统的技术资料
文档序号：33450064
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本发明提出了一种退火方法及系统，所述方法应用于UVC LED结构，所述UVC LED结构包括自上而下依次铺设的P型层、UVC MQW层、N型层和基层，所述退火方法包括：对UVCLED结构中的P型层进行激光照射，所述P型层为高Al组份的P
该专利属于安徽格恩半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽格恩半导体有限公司授权不得商用。
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