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本公开提出一种半导体结构与其形成方法。例示性的半导体结构包括隔有栅极结构的第一源极/漏极接点与第二源极/漏极接点;蚀刻停止层位于第一源极/漏极接点与第二源极/漏极接点上;导电结构位于蚀刻停止层中并直接接触第一源极/漏极接点与第二源极/漏极接...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本公开提出一种半导体结构与其形成方法。例示性的半导体结构包括隔有栅极结构的第一源极/漏极接点与第二源极/漏极接点;蚀刻停止层位于第一源极/漏极接点与第二源极/漏极接点上;导电结构位于蚀刻停止层中并直接接触第一源极/漏极接点与第二源极/漏极接...