下载用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法的技术资料

文档序号:33441328

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本发明公开一种照明系统,其包含经配置以收容气体的气体收容容器。所述照明系统还包含经配置以产生一或多个泵浦光束的一或多个泵浦源。所述照明系统包含臭氧产生单元,其包含一或多个照明源。所述一或多个照明源经配置以产生足以将收容在所述气体收容容器内的...
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