用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法技术方案

本发明专利技术公开一种照明系统，其包含经配置以收容气体的气体收容容器。所述照明系统还包含经配置以产生一或多个泵浦光束的一或多个泵浦源。所述照明系统包含臭氧产生单元，其包含一或多个照明源。所述一或多个照明源经配置以产生足以将收容在所述气体收容容器内的双原子氧(O2)的一部分转换为三原子氧(O3)的能量的照明光束，一或多个能量源经配置以经由通过所述三原子氧的一部分吸收所述一或多个能量源的能量来点燃收容在所述气体收容容器内的所述气体内的等离子体，其中所述等离子体发射宽带辐射。宽带辐射。宽带辐射。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法


[0001]本公开大体上涉及照明源，且更特定来说，本公开涉及激光持续等离子体(LSP)源。

技术介绍

[0002]用于检验不断缩小半导体装置的改进照明系统的需求在不断增长。一个此照明系统包含激光持续等离子体(LSP)照明系统。LSP照明系统包含能够产生高功率宽带光的LSP灯。LSP灯通过将激光辐射聚焦到气体容积中以将气体激发到等离子体状态中来操作。一旦点燃，那么等离子体发射宽带辐射。通常，LSP灯需要电极来点燃等离子体，等离子体接着仅由激光能持续。当前LSP灯填充有例如氩气、氪气、氙气或氮气的稀有气体。氧气无法加入含有电极的LSP灯中，因为在灯操作期间发生严重氧化。这使点燃等离子体成为复杂及昂贵的工艺。另外，其难以对准及维持照明系统。
[0003]因此，期望提供一种解决上文所识别的先前方法的缺点的系统及方法。

技术实现思路

[0004]根据本公开的一或多个实施例，公开一种系统。在一个实施例中，所述系统包含经配置以收容气体的气体收容容器。在另一实施例中，所述系统包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种系统，其包括：气体收容容器，其经配置以收容气体；一或多个泵浦源，其经配置以产生用于使等离子体在所述气体收容容器内持续的一或多个泵浦光束；及臭氧产生单元，其包含一或多个照明源，其中所述一或多个照明源经配置以产生足以将收容在所述气体收容容器内的双原子氧(O2)的一部分转换为三原子氧(O3)的能量的照明光束，其中一或多个能量源经配置以经由通过所述三原子氧的一部分吸收所述一或多个能量源的能量来点燃收容在所述气体收容容器内的所述气体内的所述等离子体，其中所述等离子体发射宽带辐射。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述臭氧产生单元的所述一或多个照明源包括经配置以产生一或多个紫外光束的一或多个紫外光源。3.根据权利要求2所述的系统，其中所述一或多个紫外光源包括：经配置以产生一或多个真空紫外光束的一或多个真空紫外光源。4.根据权利要求3所述的系统，其中所述一或多个真空紫外光源包括：放电灯。5.根据权利要求4所述的系统，其中所述放电灯包括：水银放电灯或氘灯。6.根据权利要求1所述的系统，其中所述臭氧产生单元的所述一或多个照明源包括：微波。7.根据权利要求1所述的系统，其中所述臭氧产生单元的所述一或多个照明源包括：一或多个激光。8.根据权利要求3所述的系统，其进一步包括：一或多个光学元件，其经配置以将所述真空紫外光的一部分聚焦到所述气体收容容器的接近所述等离子体的位置的区域中。9.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个泵浦源包括：一或多个激光。10.根据权利要求9所述的系统，其中所述一或多个泵浦源包括：一或多个红外激光。11.根据权利要求10所述的系统，其中所述一或多个泵浦源包括：一或多个连续波(CW)红外激光，其中来自所述一或多个CW激光的红外光由所述气体收容容器内的所述三原子氧的所述部分吸收以点燃所述等离子体。12.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个能量源包括：电点火源、电磁点火源或激光点火源中的至少一者。13.根据权利要求12所述的系统，其中所述激光点火源包含一或多个起动激光。14.根据权利要求13所述的系统，其中所述一或多个起动激光包括：一或多个脉冲激光，其中来自所述一或多个脉冲激光的光由所述气体收容容器内的所述三原子氧的所述部分吸收以点燃所述等离子体。15.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个泵浦源充当所述一或多个能量源以
点燃收容在所述气体收容容器内的所述气体内的所述等离子体。16.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括：一或多个照明光学器件，其经配置以将所述一或多...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：