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本申请公开一种静电卡盘装置和温度控制方法，静电卡盘装置，包括自下而上依次设置的装置基体、加热层以及绝缘吸附层，所述加热层中设置有至少两个主加热器，所述主加热器用于加热所述静电卡盘装置承载的晶圆，所述绝缘吸附层中设置有吸附电极，所述吸附电极用...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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