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晶圆贴合膜及其制造方法技术
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文档序号:33428473
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提供了晶圆贴合膜及其制造方法。所述晶圆贴合膜包括:基材膜;压感材料层,设置在所述基材膜上;粘合层,设置在所述压感材料层上;以及贴片膜,设置在所述粘合层上。所述制造晶圆贴合膜的方法,包括:制备基材膜;在所述基材膜上设置压感材料层;在所述压感材...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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