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本发明公开了一种小尺寸微压MEMS电子烟流量开关及其封装工艺，PCB拼板单元的同一面上并排粘接ASIC芯片、MEMS电容传感器；MEMS电容传感器正面设有传感器芯片，背面设有空腔，空腔与PCB拼板单元上开设的进气孔相通；ASIC芯片、MEM...
该专利属于江西万年芯微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西万年芯微电子有限公司授权不得商用。

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