一种小尺寸微压MEMS电子烟流量开关及其封装工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种小尺寸微压MEMS电子烟流量开关及其封装工艺，PCB拼板单元的同一面上并排粘接ASIC芯片、MEMS电容传感器；MEMS电容传感器正面设有传感器芯片，背面设有空腔，空腔与PCB拼板单元上开设的进气孔相通；ASIC芯片、MEMS电容传感器分别通过金邦线与PCB拼板单元上的焊点连接；PCB拼板单元上还设有屏蔽罩，屏蔽罩表面设有出气孔；所述MEMS电容传感器内置电容，通过电压漂移实现开关功能触发；所述ASIC芯片将MEMS电容传感器的电容信号引入，通过电压比较输出触发预设阀值唤醒LED灯IO口及雾化能量输出的电平功率。本发明专利技术通过MEMS传感器膜片的运动间隙形成电场的改变从而引起容值的线性相关性替换传统金属体的膜片机械变形的方式，批量生产时具有诸多优点。批量生产时具有诸多优点。批量生产时具有诸多优点。

【技术实现步骤摘要】
一种小尺寸微压MEMS电子烟流量开关及其封装工艺


[0001]本专利技术属于压力传感器
，具体是涉及一种小尺寸微压MEMS电子烟流量开关及其封装工艺。

技术介绍

[0002]随着国内电子烟的规范出台，电子烟应用备受市场关注，可以预见未来电子烟行业会愈发规范化，其吸烟电子基理的目前普遍采用通过咪头的金属薄膜的形变量的距离对另外一片背板的间隙电容产生影响，从而能够检测出微量气流的开关量。但是其存在以下问题：一、金属咪头膜片的电容极易受机械疲劳的影响，导致在相同压力不同次数后所形成的间隙位移作用，进而影响电容值的输出误差；二、机械冲压膜片在机械加工中控制精度不高。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于针对上述问题，提供一种小尺寸微压MEMS电子烟流量开关及其封装工艺，将传统半导体的封装工艺结合MEMS压力传感器的特性及设计工艺方法规避对其电气性能所导致的影响，在不影响压力测量性能的前提下，解决目前电子因咪头及相关气流检测的高成本和大尺寸的难点。
[0004]本专利技术的技术方案是这样实现的。
[0005本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种小尺寸微压MEMS电子烟流量开关，其特征在于：包括PCB拼板单元，所述PCB拼板单元的同一面上并排粘接ASIC芯片、MEMS电容传感器；所述MEMS电容传感器正面设有传感器芯片，背面设有空腔；所述空腔与PCB拼板单元上开设的进气孔相通；所述ASIC芯片、MEMS电容传感器分别通过金邦线与PCB拼板单元上的焊点连接；所述PCB拼板单元上还设有屏蔽罩，所述屏蔽罩盖住ASIC芯片、MEMS电容传感器、金邦线及焊点，并在表面设有出气孔；所述MEMS电容传感器内置电容，电容的输出容值与MEMS传感器膜片的运动间隙呈线性变化关系，从而通过气流的大小改变来影响电容输出端的电压漂移实现开关功能触发；所述ASIC芯片将MEMS电容传感器的电容信号引入，进行模拟信号整形滤波、放大后对内部时钟预设的频率段进行出厂配置，通过电压比较输出触发预设阀值唤醒LED灯IO口及雾化能量输出的稳定电平功率。2.根据权利要求1所述的小尺寸微压MEMS电子烟流量开关，其特征在于：所述ASIC芯片的型号为RZC388E1。3.根据权利要求1所述的小尺寸微压MEMS电子烟流量开关，其特征在于：所述MEMS电容传感器的内置电容的工作电压3.7
‑
4.2V，输出容值1
‑
5pF。4.根据权利要求1所述的小尺寸微压MEMS电子烟流量开关，其特征在于：所述MEMS电容传感器的型号为3SMS07。5.根据权利要求1所述的小尺寸微压MEMS电子烟流量开关，其特征在于：所述进气孔与出气孔孔径相等。6.根据权利要求1所述的小尺寸微压MEMS电子烟流量开关，其特征在于：所述PCB拼板单元上设有LDE灯。7.一种小尺寸...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾育林，陈建华，
申请(专利权)人：江西万年芯微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：