下载一种对晶圆加工用的光学对位仪器的技术资料

文档序号:33382720

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本实用新型公开了一种对晶圆加工用的光学对位仪器,包括固定座,所述固定座的顶部设置有转轴,所述转轴的顶部转动连接有连接架,所述连接架的前端转动连接有调节架,所述调节架的底部固定连接有固定板,靠近所述固定板的下端设置有支撑座,且所述支撑座与固定...
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