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半导体设备和制造半导体设备的方法技术
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本公开的各实施例涉及半导体设备和制造半导体设备的方法。一种半导体设备及其制造方法可以包括:堆叠,包括交替堆叠的导电层和绝缘层;分离绝缘结构,穿过所述堆叠并且包括线图案、从所述线图案突出到一侧的第一突出图案以及从所述线图案突出到另一侧的第二突...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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