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本发明公开了一种晶圆传送系统及晶圆传送方法。根据本发明实施例的晶圆传送系统包括晶圆传送盒，用于放置待传送的晶圆；承载单元，用于与所述晶圆传送盒相连接以承载所述晶圆传送盒；转运单元，用于从所述晶圆传送盒中获取所述待传送的晶圆并将其转运至基台；...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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