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一种衬底支撑单元，包括：转台（2），其可围绕第一轴线（A1）旋转并由第一驱动器（22）驱动；多个衬底载体单元（3），其与第一轴线（A1）同心地布置在转台（2）上，每个衬底载体单元包括衬底载体（34），该衬底载体（34）可围绕对应的第二轴线（...
该专利属于瑞士艾发科技所有，仅供学习研究参考，未经过瑞士艾发科技授权不得商用。

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