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半导体存储器装置制造方法及图纸
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文档序号:33341259
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本公开提供了一种能够改善可靠性和性能的半导体存储器装置。半导体存储器装置包括:衬底,其包括单元区域和单元区域周围的外围区域;单元区域隔离膜,其限定单元区域;位线结构,其位于单元区域中;第一外围栅极结构,其位于衬底的外围区域上,第一外围栅极结...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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