下载晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉的技术资料

文档序号:33337672

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该发明公开了一种晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉,晶舟结构包括支撑架,支撑架包括上支撑件和下支撑件,上支撑件与下支撑件之间设有多个支撑杆,支撑杆的两端分别与上支撑件和下支撑件相连,多个支撑杆沿上支撑件的周向间隔开设置且在其中两个相邻支撑杆...
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