下载一种Ni/Ti非周期多层膜及其制备方法和应用、Ni/Ti非周期多层膜中子超反射镜的技术资料

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本发明涉及中子超反射镜技术领域,尤其涉及一种Ni/Ti非周期多层膜及其制备方法和应用、Ni/Ti非周期多层膜中子超反射镜。本发明提供了一种Ni/Ti非周期多层膜的制备方法,包括以下步骤:在N2、O2和Ar的混合气氛中,在基底表面溅射Ni层,...
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