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本申请提供了一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：对于每一晶圆物料盒，该晶圆物料盒被主干传送带运载到载物平台时，对该晶圆物料盒上的识别标识进行扫描，得到识别结果；根据识别结果，确定通往目标物料贮存区域的目标分支传送带，并通过...
该专利属于苏州赛美特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州赛美特科技有限公司授权不得商用。

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