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半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:33287903
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本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构及其制造方法,方法包括:提供基底;在基底内形成多条沿第一方向延伸的第一沟槽,第一沟槽将基底形成间隔排布的半导体层,并在第一沟槽内填充第一隔离层;在半导体层和第一隔离层内形成多条沿第二方向延伸的第...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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