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本发明实施例提供了一种工艺任务执行方法和一种半导体工艺设备，所述方法包括：启动所述工艺任务，并将所述工艺任务中具有相同工艺腔室传输路径的晶圆划分为一个子任务；当启动所述工艺任务的子任务时，根据所述工艺腔室在所述工艺任务的子任务的传输路径中的...
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