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本实用新型公开了一种真空镀膜用基片输送装置，属于真空镀膜机技术领域，包括套接在传输辊上的输送带，所述输送带上分布等距的若干个限位块，使所述输送带带着所述限位块移动时将基片推送，所述输送带上方还安装有引导机构，所述引导机构包括伺服电机驱动的引...
该专利属于南京丙辰表面技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京丙辰表面技术有限公司授权不得商用。

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