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本发明公开了一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，溅射靶材安装定位装置包括底座、升降机构、靶材提放螺栓和靶材定位插销，底座的拐角处均匀安装有四组滚轮，升降机构内置底座的内部且由驱动电机、皮带、丝杠、滑块和升降杆...
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