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披露了一种经改善的激光器模块。该激光器模块可以包括：激光源(310)，该激光源被配置成产生激光；以及无限冲激响应滤波器，该无限冲激响应滤波器被配置成通过对激光的分量的相位进行解相关来减小所述激光的相干效应。无限冲激响应滤波器可以包括多个光学...
该专利属于ASML控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。

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