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本申请公开了一种晶圆吸附机构及称重装置，晶圆吸附机构包括承载件以及弹性吸附件。弹性吸附件的一端连接于承载件上，弹性吸附件的另一端与晶圆抵接，弹性吸附件可以与晶圆上的不同位置进行抵接吸附，以将晶圆吸附固定。根据晶圆的不同的翘曲度的变化，弹性吸...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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