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配置装置及配置方法制造方法及图纸
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文档序号:33213059
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配置装置包括:平台,支撑基板;配置部,保持晶粒,且在由平台支撑的基板上配置多个晶粒;以及控制部,具有基于由曝光装置所形成的多个图案彼此的位置关系而生成的表示多个晶粒的配置位置的地图数据,且基于地图数据,来控制在基板上配置多个晶粒时的平台与配...
该专利属于株式会社新川所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社新川授权不得商用。
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