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本发明提供一种腔体清洁装置，装置包括抽吸结构和擦拭结构；抽吸结构包括抽吸基体和过渡管，抽吸基体具有沿自身轴向贯通的抽吸通道，抽吸通道的第一端用于伸入半导体设备的腔体中，抽吸通道的第二端与过渡管连通，过渡管用于外接一抽真空设备；擦拭结构包括驱...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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