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本公开提供一种工装夹具，包括：基座(1)，中部设有定位槽区域(11)，所述定位槽区域(11)用于放置被测器件；盖板(2)，可拆卸的覆盖在所述基座(1)上，与所述基座(1)配合以固定所述被测器件；限位结构(3)，为环形结构，所述基座(1)嵌入...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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