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本发明实施例提供了一种半导体热处理设备的补偿参数获取方法和设备，应用于半导体装备技术领域，该方法包括：确定需要获取温度补偿值的参考温度，通过与参考温度对应、且与温控区域对应的辅助温度补偿值对温控区域内温度传感器采集的温度值进行补偿，通过补偿...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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