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本发明提供一种Taiko晶圆传送方法，包括利用晶圆翻转器夹持样品Taiko晶圆，随后旋转所述样品Taiko晶圆，当所述样品Taiko晶圆的定位点每旋转到一个候选标定对齐位置时，获取所述样品Taiko晶圆的变形量；其次根据所述变形量值获取所述...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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