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本申请提供的掩模版的缺陷检测方法及检测系统，极紫外光束入射进入光学单元，所述光学单元改变入射的极紫外光束的光瞳分布，以得到适配检测情况的分辨率，所述极紫外光束对待检测掩模版的缺陷进行检测，本申请提供的掩模版的缺陷检测方法及检测系统，通过针对...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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